Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme
Die Durchflussmessung ist sowohl in der Industrie als auch in der Medizin weit verbreitet. Ultraschall-Durchflussmesser können sowohl für invasive als auch für nicht-invasive Messungen eingesetzt werden und lassen sich vergleichsweise einfach installieren. Gleichzeitig bieten Ultraschall-Durchflussmesser die Vorteile einer hohen Präzision und einer schnellen Reaktionszeit. Das Fraunhofer ENAS hat einen Ultraschall-Durchflussmesser auf der Basis eines kapazitiven Messverfahrens entwickelt. Dabei werden die Laufzeiten des Ultraschallsignals im Medium zur Messung der Flussmenge verwendet. Der CMUT-basierte Durchflussmesser könnte auch den Flüssigkeitsdurchfluss in miniaturisierten Systemen messen, was für klassische Ultraschallwandler schwierig ist.