Medizinische Bildgebung

CMUT auf TO-Paket.
© Fraunhofer ENAS
CMUT auf einem TO-Gehäuse

Der medizinische Ultraschall ist eine leistungsfähige Diagnosetechnik, die zur Visualisierung einer Vielzahl von inneren Körperstrukturen, insbesondere von Weichgewebe, verwendet wird. Die Mehrheit der medizinischen Ultraschallverfahren ist nicht invasiv. Zudem erlaubt die minimal-invasive Form des Ultraschalls, auch endoskopischer Ultraschall genannt, eine hochauflösende Bildgebung vom Zielgewebe. Im Rahmen von Endostim, einem vom BMBF geförderten Projekt, hat das Fraunhofer ENAS an der Entwicklung von hochminiaturisierten Ultraschallwandlern auf Siliziumbasis für diagnostische und therapeutische Anwendungen gearbeitet. Diese kapazitiven mikromechanischen Ultraschallwandler (CMUTs) bieten im Vergleich zu piezobasierten Wandlern viele Vorteile, wie bspw. eine große Bandbreite, geringe Größe und hohe thermische Effizienz.
In einer Kooperation der zwei am Projekt beteiligten Firmen wurden die entwickelten CMUT mit CMOS-basierter Optik und der zugehörigen Steuerelektronik in ein »mikroendoskopisches« System für ultraschallgestützte Verfahren integriert.