Micro Materials Center
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme
Die Abteilung Micro Materials Center (MMC) forscht auf dem Gebiet der Zuverlässigkeit im Bereich der Mikro- und Nanotechnologien, das international zunehmend mit Microreliability and Nanoreliability bezeichnet wird.
Die Kombination von fortgeschrittenen Methoden der numerischen Simulation mit verschiedenen experimentellen Methoden in unterschiedlichen Skalen-bereichen ist das charakteristische Merkmal für die Arbeit der Abteilung.
Die hauptsächlichen Arbeitsgebiete sind:
- Zuverlässigkeit von Mikro- und Nanokomponenten und Mikrosystemen (MEMS/NEMS)
- Thermomechanische Simulation von Mikrokomponenten in Hightech-Systemen
- Mikro- und Nano-Deformationsmesstechniken
- MEMS/NEMS Tests
International anerkannte Resultate wurden insbesondere in folgenden Bereichen erzielt:
- Zuverlässigkeit von Automobilelektronik (Lötstellen, Sensoren)
- Entwurfsbewertung sowie Lebensdauerbestimmung und-optimierung
- Spannungsanalysen in Packaging-Aufbauten und MEMS/NEMS
- Bewertung von Problemen des “thermischen Mismatchs” in Lotbereichen
- Riss- und Bruchbewertung und –vermeidung
- Zuverlässigkeitsbezogene Entwurfsoptimierung
(u.a. unter Anwendung DoE)
Aktuelle Forschungsgebiete sind Automobilelektronik, Elektromobilität, Hoch-temperaturelektronik und Nanoelektronik in miniaturisierten Hightech-Systemen. In jüngster Zeit wurde auch die sogenannte „Micro- und nanosecurity“ zu einem neuen Gebiet entwickelt. In einem langfristigen Schwerpunkt wurden die DAC-Verfahren (Deformation Analysis by means of Correlation) für die quantitative Mikrodeformationsanalyse erfolgreich angewendet und weiterentwickelt. Die sogenannten microDAC- und nanoDAC-Verfahren ermöglichen die genaue Bestimmung von Deformationsfeldern in kritischen Bereichen. Für diese Ergebnisse erhielten Mitarbeiter des MMC den Joseph-von-Fraunhofer-Preis 2005 der Fraunhofer Gesellschaft.






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