Fraunhofer Projekt Center

Ziele des Fraunhofer Projekt Centers

Das Fraunhofer Projekt Center ist eine Plattform für gemeinsame Forschungs-und Entwicklungsaktivitäten der Tohoku Universität und des Fraunhofer-Instituts für Elektronische Nanosysteme ENAS.

Am Fraunhofer Projekt Center wird erarbeitet:

• F&E-Zusammenarbeit bei anspruchsvollen Fertigungstechnologien sowie Entwicklung und Anwendung neuer Materialien für mikroelektronische Systeme mit Fokus auf NEMS/MEMS und Mikro-/Nano-Fertigungstechnologien,
• Erleichterung und Beschleunigung der Kommerzialisierung von Forschung sowie den Transfer und die Anwendung neuer Materialien in der Fertigungstechnik, insbesondere Herstellung von Mikrosystemen und Halbleiterbauelementen,
• Erschließung neuer Märkte im Bereich der Mikro-/Nano-System Produktionssektoren,
  
• Einführung von Methoden und Standards der Fraunhofer-Gesellschaft für die industrielle Zusammenarbeit in Japan,
  
• Ausbildung der nächsten Generation von Forschern, Ingenieuren und Technikern durch gemeinsame Forschungsprogramme.

Zusammenarbeit der Tohoku Universität und des Fraunhofer ENAS

Seit vielen Jahren kooperieren das Fraunhofer ENAS und die Tohoku University auf dem Gebiet der neuen Materialien für mikroelektronische Systeme. Die Fraunhofer-Gesellschaft schloss in den Jahren 2005, 2010 und 2013 einen Kooperationsvertrag mit der Stadt Sendai. Von 2008 bis 2016 arbeitete der ehemalige Leiter des Fraunhofer ENAS, Prof. Gessner, als Principal Investigator im Rahmen des »World Premier Internationales Forschungszentrum Initiative - Advanced Institute for Materials Research« (WPI-AIMR) an der Tohoku University. Er wurde eingeladen, eine Forschungsgruppe im Bereich der »NEMS/MEMS Devices and Micro/Nano Manufacturing Technologies« an der Tohoku-Universität im Esashi-Labor zu etablieren. Um die Zusammenarbeit des Fraunhofer ENAS und WPI-AIMR der Universität Tohoku zu stärken, wurde eine Forschungs-und Entwicklungsabteilung an der Tohoku University eingerichtet, welche die gemeinsame strategische Forschung unterstützt. Das Fraunhofer Projekt Center »NEMS/MEMS Devices and Manufacturing Technologies« an der Tohoku-Universität läuft seit 1. April 2012.

Forschung und Entwicklung

Das Fraunhofer Projekt Center »NEMS/MEMS Devices and Manufacturing Technologies« an der Tohoku University bietet Forschungs-und Entwicklungsdienstleistungen in den folgenden Bereichen:

• Smart Systems
• MEMS/NEMS vom Design zum Prototyp
  
  • Siliziumbasiert
    
  • Basierend auf neuen Materialien (z.B. palladium based amorphous metal, gallium,...)
• Technologien für MEMS/NEMS, Smart Systems und Systemintegration
  • Silizium-basierte technologien für MEMS/NEMS
  • Polymer-basierte Technologien
    
  • Systemintegration (Waferbonden, 3D-Integration und Packaging)
  • Basistechnologien (z.B. Lithographie, Schichtabscheidung, Ätzen,...)
• Test, Modellierung und Analyse für Design, Charakterisierung und Zuverlässigkeit