Fraunhofer Projekt Center

"NEMS/MEMS devices and manufacturing technologies" an der Tohoku Universität

Ziele des Fraunhofer Projekt Centers

Das Fraunhofer Projekt Center ist eine Plattform für gemeinsame Forschungs-und Entwicklungsaktivitäten der Tohoku-Universität und des Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS.

Am Fraunhofer Projekt Center wird erarbeitet:

  • F&E-Zusammenarbeit bei anspruchsvollen Fertigungstechnologien sowie Entwicklung und Anwendung neuer Materialien für mikroelektronische Systeme mit Fokus auf NEMS/MEMS und Mikro/Nano Fertigungstechnologien,
  • Erleichterung und Beschleunigung der Kommerzialisierung von Forschung sowie den Transfer und die Anwendung neuer Materialien in der Fertigungstechnik, insbesondere Herstellung von Mikrosystemen und Halbleiterbauelementen,
  • Erschließung neuer Märkte im Bereich der Mikro-/Nano-Systeme Produktionssektoren,
  • Einführung von Methoden und Standards der Fraunhofer-Gesellschaft für die industrielle Zusammenarbeit in Japan,
  • Ausbildung der nächsten Generation von Forschern, Ingenieuren und Technikern durch gemeinsame Forschungsprogramme.

Zusammenarbeit der Tohoku Universität und des Fraunhofer ENAS

Seit vielen Jahren kooperieren das Fraunhofer ENAS und die Tohoku University auf dem Gebiet der neuen Materialien für mikroelektronische Systeme. Die Fraunhofer-Gesellschaft schloss in den Jahren 2005, 2010 und 2013 einen Kooperationsvertrag mit der Stadt Sendai. Seit 2008 arbeitet der Leiter des Fraunhofer ENAS, Prof. Gessner, als Principal Investigator im Rahmen des "World Premier Internationales Forschungszentrum Initiative - Advanced Institute for Materials Research" (WPI-AIMR) an der Tohoku University. Er wurde eingeladen, eine Forschungsgruppe im Bereich der "NEMS/MEMS devices and micro/nano manufacturing technologies" an der Tohoku-Universität im Esashi-Labor zu etablieren. Um die Zusammenarbeit des Fraunhofer ENAS und WPI-AIMR der Universität Tohoku zu stärken, wurde eine Forschungs-und Entwicklungsabteilung an der Tohoku University eingerichtet, welche die gemeinsame strategische Forschung unterstützt. Das Fraunhofer Projekt Center "NEMS/MEMS Devices and Manufacturing Technologies" an der Tohoku-Universität läuft seit 1. April 2012.

Forschung und Entwicklung

Das Fraunhofer Projekt Center "NEMS / MEMS Devices and Manufacturing Technologies" an der Tohoku University bietet Forschungs-und Entwicklungsdienstleistungen in den folgenden Bereichen:

  • Smart systems
  • MEMS/NEMS vom Design zum Prototyp
    • siliziumbasiert
    • basierend auf neuen Materialien (z.B. palladium based amorphous metal, gallium,...)
  • Technologien für MEMS/NEMS, smart systems and system integration
    • Silicon based technologies for MEMS/NEMS
    • Polymer based technologies
    • System integration (wafer bonding, 3D integration and packaging)
    • Basistechnologien (e.g. lithography, layer deposition, etching,...)
  • Test, Modellierung und Analyse für Design, Charakterisierung und Zuverlässigkeit

Kontakt

Fraunhofer Project Center
NEMS/MEMS Devices and Manufacturing Technologies at Tohoku University

Tohoku University
2-1-1 Katahira
Aoba-ku, Sendai
980-8577 Japan

Prof. Dr. Masayoshi Esashi
Telefon:    +81 22 305 2351
E-Mail:    esashi@mems.mech.tohoku.ac.jp

Prof. Dr. Shuji Tanaka
Telefon:    +81 22 795 6934
E-Mail:    tanaka@mems.mech.tohoku.ac.jp

 

Kontakt in Deutschland

Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS
Technologie-Campus 3
09126 Chemnitz

Prof. Dr. Thomas Otto
Telefon:    +49 371 45001-100
E-Mail:    thomas.otto@enas.fraunhofer.de

Dr. Maik Wiemer
Telefon:    +49 371 45001-233
E-Mail:  maik.wiemer@enas.fraunhofer.de