Institutsleitung

Lebenslauf Prof. Dr. Karla Hiller#

Stellvertretende Direktorin des Zentrums für Mikrotechnologien an der Technischen Universität Chemnitz

  • 1983 – 1988 Studium der Elektroniktechnologie und Feingerätetechnik (Diplomingenieur), Technische Universität Dresden
  • 1994 Promotion zum Dr.–Ing., Technische Universität Chemnitz
  • 1994 – 2000 Wissenschaftliche Mitarbeiterin an der Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik an der Technischen Universität Chemnitz
  • 2000 – 2002 Wissenschaftliche Mitarbeiterin am Fraunhofer IZM Berlin/Chemnitz
  • seit 2002 Wissenschaftliche Mitarbeiterin am Zentrum für Mikrotechnologien der Technischen Universität Chemnitz
  • 2004 HabilitationTechnische Universität Chemnitz
  • seit 2008 Stellvertretende Direktorin des Zentrums für Mikrotechnologien an der Technischen Universität Chemnitz
  • seit 2011 Außerplanmäßige Professorin an der Professur Mikrotechnologie, jetzt Professur Smart Systems Integration im Zentrum für Mikrotechnologien der Technischen Universität Chemnitz
  • seit 2007 Mitglied Programmkomitee der Europäischen Smart Systems Integration Conference
  • seit 2017 Mitglied Programmkomitee des deutschen Mikrosystemtechnikkongresses


weitere Tätigkeiten:

  • Gutachertätigkeit Deutsche Forschergemeinschaft

Ehrungen und Preise:

  • 2008 Sensor-Innovationspreis der AMA für „Spektral durchstimmbarer Infrarot-Detektor mit mikromechanischem Filter"
  • 2010 SPIE Prism Award 2010 für “Recent Advances in Expanding the Spectral Range of MEMS Fabry-Pérot Filters”, SPIE 2010