ESTREL Hotel, Berlin  /  28.10.2019  -  30.10.2019

MikroSystemTechnik Kongress 2019

8. MikroSystemTechnik Kongress "MEMS, Mikroelektronik, Systeme

www.mikrosystemtechnik-kongress.de

Gemeinschaftsstand der Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland (FMD)

KONFERENZBEITRÄGE:

Die Mitarbeiter des Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS Chemnitz und des Zentrum für Mikrotechnologien der Technischen Universität Chemnitz präsentieren oder sind beteiligt an folgenden Beiträgen:

 

Vorträge

Dienstag, 29. Oktober 2019

 

Session 01: Heterointegration
Raum: ESTREL-Saal A

10:30 Uhr
Wafer- und Chipintegration mittels reaktiver CuO/Al Multilagensysteme
Klaus Vogel and Silvia Hertel (Fraunhofer ENAS, Germany); Hannes Bender (Technische Universität Chemnitz, Germany); Frank Roscher (Fraunhofer ENAS, Germany); Sven Zimmermann (Technische Universität Chemnitz, Germany); Maik Wiemer (Fraunhofer ENAS, Germany)

11:30 Uhr
Plattformkonzept zum Aufbau von hochintegrierten Multisensorknoten
Karl-Friedrich Becker (Fraunhofer IZM, Germany); Mathias Boettcher (Fraunhofer Institute IZM-ASSID, Germany); Michael Schiffer (Fraunhofer IZM, Germany); Harald Pötter (Fraunhofer IZM, Berlin, Germany); Christian Tschoban and Damian Freimund (Fraunhofer IZM, Germany); Carsten Brockmann (Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM, Germany); Frank Windrich (Fraunhofer IZM-ASSID, Germany); Sven Voigt and Lutz Hofmann (Fraunhofer ENAS, Germany); Mario Baum (Fraunhofer ENAS & ENAS, Germany); Fabian Hopsch and Andy Heinig (Fraunhofer IIS/EAS, Germany); Klaus-Dieter Lang (Fraunhofer, Germany); Tanja Braun (Fraunhofer IZM, Germany)

 

Session 04: Optische Mikrosysteme
Raum: Raum V

10:50 Uhr
Piezoelektrischer Mikrospiegel mit großem Scanwinkel, basierend auf Dünnschicht-Aluminiumnitrid
Katja Meinel, Chris Stöckel, Marcel Melzer and Sven Zimmermann (Technische Universität Chemnitz, Germany); Roman Forke and Karla Hiller (Fraunhofer ENAS, Germany); Thomas Otto (Technische Universität Chemnitz, Germany)

 

Session 05: Mikrosensoren und Mikroaktoren I
Raum: ESTREL-Saal A

13:40 Uhr
Mikro- und Nanotechnologien zur Herstellung steuerbarer optischer Filter
Karla Hiller (Chemnitz University of Technology, Germany); Steffen Kurth and Marco Meinig (Fraunhofer ENAS, Germany); Mario Seifert (Technische Universität Chemnitz, Germany); Jan Seiler and Christian Helke (Chemnitz University of Technology, Germany); Thomas Otto (Fraunhofer ENAS, Germany)

14:40 Uhr
Beschleunigungssensoren mit großer Bandbreite und geringer Leistungsaufnahme für industrielle Anwendungen
Roman Forke and Karla Hiller (Fraunhofer ENAS, Germany); Matthias Küchler (FhG ENAS, Germany); Susann Hahn (TU Chemnitz, Germany); Sebastian Weidlich (Technische Universität Chemnitz, Germany); Stefan Konietzka (EDC Electronic Design Chemnitz GbmH, Germany); Tim Motl and Alexander Praedicow (EDC Electronic Design Chemnitz GmbH, Germany); Thomas Otto (Fraunhofer ENAS, Germany)

 

Session 07: Mikro-Nano-Integration
Raum: ESTREL-Saal C

14:40 Uhr
Functional carbon nanotubes for MEMS applications: Miniaturized strain sensor and black coating for infrared devices
Jens Bonitz (Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems (ENAS), Germany); Simon Böttger (Technische Universität Chemnitz, Germany); Sascha Hermann (Chemnitz University of Technology, Germany); Stefan E. Schulz (Chemnitz University of Technology & Fraunhofer ENAS, Germany)

 

Session 09: Mikrosensoren und Mikroaktoren II
Raum: ESTREL-Saal A

17:00 Uhr
Entwurf, Fabrikation und Test einer 3-DOF Positionierplattform mit thermischen Aktuatoren
Sebastian Voigt and Markus Freitag (Technische Universität Chemnitz, Germany); Varsha Krishna (University of Groningen, The Netherlands); Susann Hahn (TU Chemnitz, Germany); Karla Hiller (Chemnitz University of Technology, Germany); Jan Mehner (Technische Universität Chemnitz, Germany)

 

Session 10: Medizintechnik und Implantate I
Raum: ESTREL-Saal B

16:40 Uhr
Multisensor-Implantat zur Überwachung der Hämodynamik
Özgü Dogan (Micro-and Nanosystems, Pressure Sensor Systems, Fraunhofer IMS, Germany); Nicolas Schierbaum (Fraunhofer Institute for Microelectronic Circuits and Systems, Germany); Jens Weidenmueller (Fraunhofer IMS, Germany); Mario Baum (Fraunhofer ENAS, Germany); Michael Görtz (Fraunhofer IMS, Germany); Karsten Seidl (Universität Duisburg-Essen, Germany)

 

Session 12: Produktion und Automatisierung
Raum: Raum V

17:00 Uhr
Intelligenter Werkstückträger mit Inertialsensorik zum Überwachen und Optimieren von Fertigungsprozessen
Roman Forke (Fraunhofer ENAS, Germany); Erik Forke (Fraunhofer IWU, Germany); Mohaned Alaluss and Sebastian Weidlich (Technische Universität Chemnitz, Germany); Daniel Bülz (Fraunhofer ENAS, Germany)

 

 

Poster

 

Dienstag, 29. Oktober 2019

 

15:00 - 16:00 Uhr
Raum: Convention Hall I Sektion C-D

Postersession 06: Mikro-Nano-Integration

Entwicklung eines Prozesses für das Entfernen von Silizium-Einzellagen mittels Atomlagenätzen
Nils A Dittmar (TU Chemnitz & Fraunhofer ENAS, Germany); Matthias Küchler (FhG ENAS, Germany); Danny Reuter and Thomas Otto (Fraunhofer Institut ENAS, Germany); Christoph R. Meinecke (Technische Universität Chemnitz, Germany)

 

Mittwoch, 30. Oktober 2019

 

14:30 - 15:30 Uhr
Raum: Foyer Convention Hall I

Postersession 08: Produktion und Automatisierung

Entwicklung eines Multisensorsystems zur Zustandsüberwachung und Crasherkennung von Werkzeugmaschinen mit rotierenden Spindeln
Christoph R. Meinecke (Technische Universität Chemnitz, Germany); Karla Hiller (Chemnitz University of Technology, Germany); Danny Reuter (Technische Universität Chemnitz, Germany); Petra Streit (Fraunhofer Institut ENAS, Germany); Rene Kürschner (AMAC ASIC- und Mikrosensoranwendung Chemnitz GmbH, Germany); Jonas Albers (Lenord, Bauer & Co. GmbH, Germany); Claus Dittrich (AMAC GmbH, Germany); Heinrich Höller and Burkhard Stritzke (Lenord, Bauer & Co. GmbH, Germany)

 

Postersession 09: Entwurfsmethoden und Simulationen

Simulation der Eigenerwärmung gedruckter Leiterbahnen für die thermische Auslegung
Daniel Bülz, Petra Streit, Roman Forke and Thomas Otto (Fraunhofer ENAS, Germany)

 

Postersession 10: Messtechnik, Test, Zuverlässigkeit

Identification of critical stress location on PCBs taking into account the influence of fixations and housing
Remi Pantou and Rainer Dudek (Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems, Germany); Marcus Hildebrandt and Sven Rzepka (Fraunhofer ENAS, Germany)

Technology Variation Measured with a Stress Chip for more Reliable Packages
Florian Schindler-Saefkow, Sven Rzepka and Paula Wich-Glasen (Fraunhofer ENAS, Germany); Jan Albrecht (Fraunhofer Institute & Electronic Nano Systems ENAS, Germany)