4. Chemnitzer Seminar

organisiert durch die Abteilung Micro Materials Center

Die Fraunhofer-Einrichtung für Elektronische Nanosysteme ENAS präsentiert am 23. September 2010 im Fraunhofer ENAS in Chemnitz die 4. Veranstaltung eines Seminars zum Thema "Nanotechnology, Nanomaterials and Nanoreliability".

Programm

13:00 - 13:30 Uhr
Prof. B. Michel, Dr. S. Rzepka, Fraunhofer ENAS, Chemnitz
„Kurzvorstellung der Abt. Micro Materials Center am ENAS“

13:30 - 14:10 Uhr
J. Wolf, Fraunhofer IZM Dresden und Berlin
„3D-Integration mit Wafer-Level Packaging am All Silicon Systems Integration Center (ASSID) Dresden”

14:10 - 14:50 Uhr
Prof. J. Horstmann, TU Chemnitz, Professur Elektron. Bauelemente der Mikro- und Nanotechnik
“Zuverlässigkeit und Parameterstreuung von Sub 50nm MOS-Transistoren”

15:20 - 16:00 Uhr
Dr. K. Nicolaus, Dr. J. Portmann, EPCOS AG, München
„Entwicklung von Packages für SAW- und MEMS-Komponenten für die Massenfertigung unterstützt durch FEM Simulationen“

16:00 - 16:40 Uhr
Prof. E. Zschech, Fraunhofer IzfP Dresden
„Fehleranalyse in Kupfer-TSVs mit nano XCT”