Mikrofluidik und spektroskopische Analyse

Piezoelektrische Mikrosensoren für OCT

Vorstellung der kanadisch-deutschen Industriekooperation beim Bundesminister für Wirtschaft und Energie Peter Altmaier.

Am Fraunhofer ENAS werden piezoelektrische Mikrosysteme mit Aluminiumnitrid (AlN) entwickelt. Diese piezoelektrischen Wandler stoßen in der Industrie auf hohes Interesse als Aktuator- und Sensormaterial. Um diese industriellen Anwendungen zu ermöglichen hat ein Konsortium, bestehend aus dem Fraunhofer ENAS (Kompetenz: Piezoelektrische Mikrosysteme), der kanadischen Firma Preciseley Microtechnology Inc. (Kompetenz: Elektrostatische Mikrosysteme) und EDC Electronic Design Chemnitz GmbH (Kompetenz: ASIC Entwicklung) sich zwei technischen Herausforderungen gestellt. Zum einen wurden die piezoelektrischen Wandler u.a. als Positionssensoren erfolgreich in die industrielle Großserientechnologie des kanadischen Projektpartners integriert. Darüber hinaus haben die Projektpartner einen ASIC zur schnellen, rauscharmen Auswertung kleinster Sensorsignale realisiert. Die technischen Entwicklungen ermöglichen beispielsweise eine Miniaturisierung hin zu hochpräzisen endoskopischen Systemen für die optisch kohärente Tomographie (OCT). Somit kann eine Entwicklung aufgezeigt werden die OCT nicht nur in der Augenheilkunde (ex vivo), sondern auch für nicht invasive endoskopische in vivo Diagnostik zu nutzen.
Die technische Neuentwicklung wurde durch eine Förderung des BMWi (Bundesministerium für Wirtschaft und Energie) und der EDT (Economic Development and Trade) im Rahmen des Zentralen Innovationsprogramms Mittelstand (ZIM) ermöglicht. Zum Innovationstag Mittelstand 2018 der AiF (Arbeitsgemeinschaft industrieller Forschungsvereinigungen) wurde ein Projektdemonstrator als Beispiel neuster technischer Entwicklungen im Bereich der Mikrosysteme dem deutschen Bundesminister für Wirtschaft und Energie, Peter Altmaier, vorgestellt.