Hybride Sensoren

Business Unit »Intelligent Sensor and Actuator Systems«

Schlüsselkomponenten des Internet of Things (IoT) sind Sensoren, welche eine oder mehrere physikalische Größen und deren Änderung aus technischen Systemen und deren Umgebung erfassen und für die Weiterverarbeitung in geeignete Signale wandelt.

Hybride Sensoren kombinieren diese applikationsspezifischen, sensorischen Messprinzipien (zumeist auf Basis von MEMS) mit hybriden Integrationstechnologien zusammen mit spezialisierten Elektronikkomponenten und einer maßgeschneiderten Datenauswertung.

Das Fraunhofer ENAS entwickelt sensorische Einzelkomponenten, Systemkonzepte und Systemintegrationstechnologien und überführt diese mit Hilfe von spezifischen Charakterisierungsmethoden in die Anwendung und bildet so die Verbindung zu den Business Units Process, Device & Packaging Technologies  und Systems and Applications.

So wurden beispielsweise miniaturisierte MEMS-basierte Ölqualitätssensoren zur Messung der Parameter Viskosität, Dichte, Temperatur und Dielektrizitätszahl einer Flüssigkeit, folienbasierte kapazitive oder CNT-basierte Axialkraftsensoren zur Verbesserung der Prozessstabilität an zerspanenden Werkzeugmaschinen oder mit weiteren Partnern intelligente Nutensteine zur kontinuierlichen Überwachung in Umformpressen entwickelt.

Ausgewählte Anwendungsszenarien

 

PMUT – Eine neue Generation von Ultraschallwandlern

 

Viskositätssensor/Fluidsensor