Leistungsangebot

Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme

Analytik

  • Rasterelektronenmikroskop REM / EDX
  • Atomkraftmikroskop AFM
  • Winkelvariierende spektroskopische Ellipsometrie
  • Laser-Profilometrie (UBM, TENCOR FLX-2900)
  • Oberflächen-Profilometer
  • Ultraschall-Mikroskop
  • Zug-Druckprüfmaschine Zwick 4660 universal
  • Perkin-Elmer DMA 7e dynamisch-mechanischer Analyzer
  • Mikromechanische Tests
  • Lebensdauer-Tests