Kooperationen mit internationalen Universitäten

Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme

Die Kooperation des Fraunhofer ENAS und des Zentrum für Mikrotechnologien der Technischen Universität Chemnitz mit der Tohoku University Sendai in Japan ist sehr erfolgreich. Der Principal Investigator Prof. Dr. Thomas Geßner bekam eine eigene WPI Arbeitsgruppe, die zu dem großen Komplex Material- und System-Integration innerhalb der WPI Advanced Institute for Materials Research gehört. Die Arbeitsgruppe wird seit November 2008 von Prof. Yu-Ching Lin geleitet. Schwerpunkt der Forschung ist die Smart Systems Integration von MEMS/NEMS, vor allem die Integration von wärmeerzeugenden Materialien für Wafer-Bonding, die CMOS-MEMS-Integration und die Herstellung von Nano-Strukturen.

Innerhalb der International Graduate School "Materials and Concepts for Advanced Interconnects" arbeiten spezialisierte Ingenieure der Elektrotechnik und Mikroelektronik, Materialwissenschaftler sowie Physiker und Chemiker gemeinsam an der Entwicklung neuer Materialien und Prozesse sowie an neuen Konzepten der Interconnect-Systems für integrierte Schaltungen. Das Projekt leistet nicht nur wesentliche Beiträge zur Lösung von Problemen in der Nanoelektronik. Es unterstützt und fördert eine interdisziplinäre und kulturelle Kommunikation und Kooperation. Die Teilnehmer an diesem Vorhaben sind das Institut für Physik, das Institut für Chemie und das Zentrum für Mikrotechnologien der TU Chemnitz sowie die Technische Universität Berlin, die Fudan-University Shanghai, die Shanghai Jiao Tong University, das Fraunhofer-Institut für Mikrointegration und Zuverlässigkeit IZM und das Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS.

Gemeinsam mit ihren französischen Partnern an der Universität Grenoble und der CEA-LETI entwickelt die Abteilung Advanced System Engineering ein Know-how im Bereich der Low-Cost Wireless Smart-Sensor-Systeme (wie SAW-Detektoren). Ein weiterer Aspekt des europäischen Engagements der Abteilung ASE mit der École des Mines in Gardanne und der Universität Leuven dreht sich um die Entwicklung eines innovativen Nahfeld-Scanners.