Kontakt

Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme

Abteilung Schichtabscheidung

  • Dr.-Ing. Christian Kaufmann

    Leiter der Abteilung Schichtabscheidung

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-35096

  • Norbert Zichner

    stellvertretender Abteilungsleiter Schichtabscheidung

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 45001-460

  • Jens Bonitz

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-33608

  • Birgit Groth

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-3683

  • Ramon Hahn

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-35160

  • Susann Hahn

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 45001-468

  • Iris Höbelt

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-33670

  • Cornelia Kowol

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-33202

  • Reinhard Müller

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-35154
    • Fax +49 371 45001-561

  • Matthias Plänitz

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für MIkrotechnologie

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 51-33651

  • Dr.-Ing. Thomas Raschke

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 45001-273

  • Michael Rennau

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-35810

  • Renè Reich

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-35834

  • Patrick Schwarz

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-35142

  • Mario Seifert

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-35185