Kontakt

Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme

Abteilung Lithografie

  • Dr.-Ing. Andreas Bertz

    Leiter der Abteilung

    Abteilung Lithografie

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-33129

  • Gunther Schwenzer

    stellvertretender Abteilungsleiter

    Abteilung Lithografie

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-33682

  • Jörn Bankwitz

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-37718

  • Mandy Bruder

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-37746

  • Dr. rer. nat. Jens-Wolfram Erben

    Abteilung Lithografie

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-35048

  • Jürgen Grunert

    Abteilung Lithografie

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-35094

  • Sven Haas

    Abteilung Lithografie

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 45001-452

  • Ingrid Hempel

    Abteilung Lithografie

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-35082

  • Ingo Klimmt

    Abteilung Lithografie

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-33640

  • Matthias Küchler

    Abteilung Lithografie

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-35836

  • Markus Nowack

    Abteilung Lithografie

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-36462

  • Dr. Danny Reuter

    Abteilung Lithografie

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-35041

  • Isa Streiter

    Abteilung Lithografie

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-35084

  • Thomas Werner

    Abteilung Lithografie

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-35515