Kontakt

Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme

Back-end of Line

  • Prof. Dr. Stefan E. Schulz

    Leiter der Abteilung

    Abteilung Back.end of Line

    Technologie-Campus 3
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 45001-232
    • Fax +49 371 45001-332

  • Birgit Weber

    Sekretariat

    Abteilung Back-end of Line

    Technologie-Campus 3
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 45001-222
    • Fax +49 371 45001-322

Gruppen der Abteilung:

  • Dr.-Ing. Knut Gottfried

    stellvertretender Abteilungsleiter und Gruppenleiter Prozesse und Prozesskontrolle

    Abteilung Back-end of Line

    Technologie-Campus 3
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 45001-299
    • Fax +49 371 45001-399

  • Lutz Hofmann

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-36548

  • Ronny Martinka

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09107 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-38182

  • Sven Plagens

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09107 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-36917

  • Ina Schubert

    Abteilung Back-end of Line

    Technologie-Campus 3
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 45001-282
    • Fax +49 371 45001-382

  • Manuela Zacher

    Abteilung Back-end of Line

    Technologie-Campus 3
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 45001-285
    • Fax +49 371 45001-385

  • Dr.-Ing. Ramona Ecke

    Gruppenleiterin Prozessintegration

    Abteilung Back-end of Line

    Technologie-Campus 3
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 45001-281
    • Fax +49 371 45001-381

  • Nicole Ahner

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-35020

  • Tobias Fischer

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-38226

  • Ines Hartwig

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-37217

  • Dr.-Ing. Knut Schulze

    Abteilung Back-end of Line

    Technologie-Campus 3
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 45001-297
    • Fax +49 371 45001-397

  • Dr.-Ing. Sven Zimmermann

    Abteilung Back-end of Line

    Technologie-Campus 3
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 45001-279
    • Fax +49 371 45001-379

  • Dr.-Ing. Thomas Wächtler

    Gruppenleiter Nanomaterialien und Analytik

    Abteilung Back-end of Line

    Technologie-Campus 3
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 45001-280
    • Fax +49 371 45001-380

  • Dr.-Ing. Sascha Hermann

    Gruppenleiter Nanomaterialien und Analytik

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-35675

  • Dr. rer. nat. Thomas Blaudeck

    Technische Universität Chemnitz, Zentum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09107 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-35610

  • Dr. rer. nat. Jens-Wolfram Erben

    Abteilung Back-end of Line

    Technologie-Campus 3
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-35048

  • Holger Fiedler

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-38572

  • Sergei Loschek

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-38487

  • Dr.-Ing. Reinhard Streiter

    Gruppenleiter Simulation

    Abteilung Back-end of Line

    Technologie-Campus 3
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 45001-288
    • Fax +49 371 45001-388

  • Dr. Jörg Schuster

    Abteilung Back-end of Line

    Technologie-Campus 3
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 45001-286
    • Fax +49 371 45001-386

  • Dr.-Ing. Saeideh Mohammadzadeh

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-36816

  • Christian Wagner

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-38699

  • Dr. Hermann Wolf

    Abteilung Back-end of Line

    Technologie-Campus 3
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 45001-287
    • Fax +49 371 45001-387

  • Andreas Zienert

    Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien

    Reichenhainer Straße 70
    09126 Chemnitz

    • Telefon +49 371 531-37937