Das Subgeschäftsfeld "RF-MEMS" umfasst die Herstellung von Bauelementen für die Hochfrequenztechnik, deren elektrische Eigenschaften durch den Einsatz von Mikromechanikelementen verändert werden können oder deren Funktion wesentlich durch die Mechanikkomponenten bestimmt wird.

Der Markt für RF-MEMS kann in zwei Kategorien aufgeteilt werden. Die erste Kategorie bilden Luftfahrt, Sicherheits- und Verteidigungstechnik sowie Messtechnik. In diesen Anwendungen werden Bauelemente mit extrem hohen Ansprüchen an die Leistungsparameter benötigt (an der Grenze der physikalisch Möglichen). Gegenwärtig nimmt diese Kategorie einen Großteil des Marktvolumens ein. Der zweite Anwendungsbereich wird von der Kommunikationstechnik (stationär und mobil) dominiert. Hierbei steht die stetige Verbesserung der wesentlichen Eigenschaften wie Leistungsbedarf, Bauform und Funktionalität im Vordergrund. RF-MEMS können z.B. im Bereich einstellbarer Filter einen wichtigen Beitrag leisten. Durch die Verwendung verstellbarer Bauelemente kann die Funktionalität in verschiedenen Netzen mit verschiedenen Frequenzen und Standards ohne den Aufbau paralleler Signalpfade gewährleistet werden.

Die Schwerpunkte dieses Subgeschäftsfelds sind:

• Konzeptionierung und Entwicklung von RF-MEMS-Bauelementen

• Entwicklung von Technologien zur Herstellung und Integration von RF-MEMS

• Herstellung von Prototypen und Kleinserien.