Polymer based low-cost MEMS/NEMS
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme
"Polymer based low-cost MEMS/NEMS" adressiert die Integration von mikro- und nanosensorischen sowie aktorischen Funktionalitäten als integralen Bestandteil von intelligenten Systemen. Schwerpunkte liegen dabei auf nanokomposit-basierter Sensorik sowie materialintegrierter Aktorik für polymere Mikrosysteme. Es werden die zwei wesentlichen Märkte der industriellen Prozessüberwachung sowie Medical and Life Science adressiert:
- Entwicklung kostengünstiger, großflächiger, hochsensitiver Sensorik
- Integration von bisher schwer integrierbaren Sensorprinzipien (integriertes Condition Monitoring)
- System- und Komponentenlieferung für präzise Zuverlässigkeitsüberwachung
- Senkung der Einstiegsschwelle für Unternehmen im Bereich Biotechnologie bei der Entwicklung integrierter mikrofluidischer Lösungen
Das Fraunhofer ENAS bietet folgende Dienstleistungen an:
- Entwicklung systemintegrierbarer Funktionalitäten mittels Nanokompositen
- kundenspezifische Zusammensetzung der Nanokomposite für gezielte Applikation u.a. im Leichtbau
- präzise Zustandsüberwachung mit preiswerten Nanokompositsensoren
- Entwicklung kundenspezifischer vollintegrierter sensorischer und aktorischer Lösungen
- Gemeinschaftsentwicklung mit Unternehmen im Bereich der Molekulardiagnostik und Zellbiologie.




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