Das Subgeschäftsfeld "High precision MEMS/NEMS" beinhaltet die Entwicklung von Prototypen und Systemlösungen hoch präziser mikroelektromechanischer Systeme (MEMS) und nanoelektromechanischer Systeme (NEMS). Der Fokus liegt auf hochgenauen Inertialsensoren für industrielle Messungen, Navigationsaufgaben und medizinische Anwendungen sowie auf präzisen Aktoren für optische MEMS. In diesem Bereich bietet das Fraunhofer ENAS folgende Forschungs- und Entwicklungsleistungen an:

• MEMS/NEMS Design und Modellierung

• System-Design und Modellierung

• Technologieentwicklung

• Fertigung von Prototyen und Kleinserien mit speziellen Technologien oder Basistechnologien

• MEMS/NEMS Test

• System-Test