Das Geschäftsfeld "Mirco and Nano Systems" umfasst auf Silizium- und Polymertechnologien basierende Entwicklungen von Mikro- und Nanosystemen. Entsprechend den Märkten und Kundengruppen wird es in drei Subgeschäftsfelder "High precision MEMS/NEMS", "Polymer Based low-cost MEMS/NEMS" und "RF-MEMS" untergliedert. Inhaltlich basiert dieses Geschäftsfeld auf den Kernkompetenzen "Design and Test of Components and Systems", "Silicon Based Micro and Nano Technologies", "Polymer Based Micro and Nano Technologies", "System Integration Technologies" und "Reliability of Components and Systems".

Subgeschäftsfelder: