Back-End of Line

Materialien und Metallisierung für NEMS

Materialien und Methoden zur Herstellung von Kontaktsystemen in nanoelektromechanischen Bauelementen (NEMS) bilden einen sich entwickelnden Arbeitsschwerpunkt innerhalb der Abteilung Back-End of Line am Fraunhofer ENAS. Da Kohlenstoffnanoröhrchen (CNTs) aufgrund deren einzigartigen Eigenschaftprofils besonders interessant zur Herstellung NEMS-basierter Sensoren und Aktoren erscheinen, konzentrieren sich die Arbeiten derzeit auf die Kontaktierung von Metallelektroden mit CNTs. Hierfür werden Methoden wie die Dielektrophorese zur kontrollierten lateralen Abscheidung von CNTs, sowie die Atomlagenabscheidung (ALD) zur dreidimensionalen Funktionalisierung und Metallisierung der Kohlenstoffnanoröhrchen untersucht.

 

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