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Quelle: Fraunhofer-Gesellschaft: Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme - Back-end of Line
Online im Internet; URL http://www.enas.fraunhofer.de/de/Abteilungen/BEoL/forschungsschwerpunkte.html
[Datum: 16.05.2012, 23:04 Uhrzeit]]